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ASML上年交付了26台极紫外线光刻机(EUV)
发布日期:2024-06-22 07:00     点击次数:58

    据外媒报道,半导体业光刻系统经销商ASML上年交付了26台极紫外线光刻机(EUV)。

    私人侦探表达,在其中约一半朝向大顾客台积电。ASML先前发布,今年,共向顾客交付了26台极紫外线光刻机。在其中,在第四季度交付了8台。ASML还表露,上年交付的26台极紫外线光刻机中,有9台是新型号,即NXE:3400C。

    美国私人侦探推断称,ASML上年交付的26台极紫外线光刻机,大概一半朝向台积电。台积电今年全面启动7nm商品的批量生产,这只有根据光波长非常短的EUV开展实际操作。材料显示信息,EUV灯源光波长比现阶段深紫外线微影的灯源光波长缺少约15倍,因而能做到不断将图形界限规格变小的目地。在晶圆代工生产行业,台积电把握了全世界约一半市场份额。

    三星电子、intel等也购置了ASML的极紫外线光刻机机器设备。ASML服务项目的顾客为全世界关键的半导体材料生产商,打造出在电力电子技术、通讯和信息科技商品中广泛运用的集成ic。ASML总公司坐落于西班牙的Veldhoven市。生产制造产业基地和产品研发设备则坐落于马萨诸塞州、美国加州的、台湾和西班牙。智能科技管理中心及训炼设备坐落于日本国、日本、西班牙、台湾和英国。

    ASML在阿姆斯特丹泛欧证交所和nasdaq发售。周三收市,ASML(NASDAQ:ASML)股票价格高涨2.2%至278.58美元,市值约1169.51亿美金。

    ASML在IEDM2019交流会上公布,截止今年,一共早已应用EUV机器设备解决了450万片晶圆。该企业全新的NXE:3400C系统每钟头可生产制造170个晶圆。

    从2013年到2018末, 芯片采购平台根据ASML的EUV专用工具总计运作的450万片晶圆中,绝大多数(250万片)仅产生在2018,自2017年初的60万片至今,每一年大概翻一番。每一年要有一千两百万个晶圆,虽然应当留意的是,晶圆在其生产制造全过程中将会会亲身经历数十次光刻曝出。

    因为三星和台积电早已刚开始生产制造其7nm和N7+加工工艺,因而EUV生产加工的晶圆总数在今年将会还会继续提升。根据EUV的集成ic包含三星Exynos9825,青龙9905G,及其2020年,高通骁龙的5GSnapdragon主板芯片组和AMD的Zen3。intel将在2023年选用7nm的EUV。

    截止2018第二季度,NXE:3400B系统的安裝数量做到38个,基本上是17年的四倍。这说明EUV的选用已经提高,而且顾客对该技术性满怀信心。今年第三季度ASML得到了23份EUV订单信息(并表达它将在今年交付约35个系统),包含好几个DRAM系统。全部这种订单信息全是对于新的NXE:3400C系统的,该系统也在当初第三季度刚开始送货。

    虽然EUV的延迟时间乃至比intel的10纳米技术加工工艺也要长,但ASML注重了它在EUV货运量层面获得的进度,它是限定其经济可行性的关键要素。五年来提高了17倍之上。全新的NXE:3400C每钟头可生产制造170个晶圆。可是,根据曝露使用量和系统关机時间,商业服务布署的货运量将会会更低。