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据外媒报道,半导体业光刻系统经销商ASML上年交付了26台极紫外线光刻机(EUV)。 私人侦探表达,在其中约一半朝向大顾客台积电。ASML先前发布,今年,共向顾客交付了26台极紫外线光刻机。在其中,在第四季度交付了8台。ASML还表露,上年交付的26台极紫外线光刻机中,有9台是新型号,即NXE:3400C。 美国私人侦探推断称,ASML上年交付的26台极紫外线光刻机,大概一半朝向台积电。台积电今年全面启动7nm商品的批量生产,这只有根据光波长非常短的EUV开展实际操作。材料显示信息,EUV灯源
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